Ald設備用臭氧發(fā)生器配套有哪些

ALD設備用臭氧發(fā)生器的配套設備主要有以下幾種：

氧氣源：可用氧氣瓶或液氧，通常使用高純度氧氣作為原料，純度一般要求在99.99%以上，為臭氧發(fā)生器提供產生臭氧的氣源.

臭氧發(fā)生器：為ALD提供高濃度臭氧氣體，濃度可在100mg/L或 200mg/L以上。

氣體管道：用于連接臭氧發(fā)生器與ALD反應室，將生成的臭氧輸送到反應室中，材質一般為耐腐蝕的材料，如不銹鋼等.

氣體流量控制器：可精確控制進入ALD系統(tǒng)的臭氧流量，保持反應環(huán)境中臭氧流量的穩(wěn)定，確保反應的穩(wěn)定性和重復性.

臭氧濃度監(jiān)測器：實時監(jiān)測生成的臭氧濃度，保證臭氧濃度符合ALD系統(tǒng)的要求，以便及時調整臭氧發(fā)生器的運行參數.

臭氧尾氣分解器：由于臭氧是有毒氣體，反應結束后需將尾氣中的臭氧分解為無害物質，防止環(huán)境污染和人員傷害.

我們提供ALD用的高濃度臭氧發(fā)生器（臭氧濃度有2種選擇，100mg/L或200mg/L）、臭氧在線檢測儀、臭氧管路接頭、臭氧尾氣破壞器。