超純臭氧發(fā)生器（高濃度臭氧氣體發(fā)生器）臭氧濃度能達(dá)到100%嗎

    此超純臭氧發(fā)生器不是我們常見(jiàn)的高濃度臭氧發(fā)生器，此款是發(fā)生器出口臭氧濃度為100%臭氧，不含混合氣體。原理如下：

    臭氧發(fā)生器中產(chǎn)生的臭氧氣體在低溫冰箱中冷卻，高純度液態(tài)臭氧通過(guò)在臭氧室中的分離和積累而被冷卻。 該系統(tǒng)通過(guò)液體臭氧的蒸發(fā)能夠連續(xù)供應(yīng)高純度臭氧氣體。該裝置可以安全，連續(xù)地生產(chǎn)濃度接近100％的臭氧氣體。
 

產(chǎn)品特色

    超純臭氧發(fā)生器是液化和儲(chǔ)存臭氧氣體并連續(xù)供應(yīng)高純度臭氧氣體的裝置。由于高純度的臭氧水平，它可以用作半導(dǎo)體工藝中的氧自由基產(chǎn)生源。為了安全起見(jiàn)，本機(jī)具有足夠的安全措施。 

安全測(cè)量

    請(qǐng)始終在高純度和低壓條件下運(yùn)行，以確保系統(tǒng)安全。

安全設(shè)計(jì)

     •防爆設(shè)計(jì)

     •通過(guò)電源使用故障安全系統(tǒng)進(jìn)行溫度/壓力控制。

可靠性

    •具有緊急吹掃機(jī)制，以在停電時(shí)稀釋工藝氣體管線中的臭氧并排放設(shè)備內(nèi)的殘留臭氧。

    •發(fā)生任何異常情況時(shí)（制冷機(jī)具有防止臭氧爆炸的運(yùn)行維護(hù)功能），可以通過(guò)EMO（緊急關(guān)閉）開(kāi)關(guān)手動(dòng)切換。

    •即使在不太可能發(fā)生的爆炸中，該結(jié)構(gòu)的設(shè)計(jì)也可以通過(guò)將液化室容納在真空絕緣的不銹鋼容器中來(lái)防止對(duì)外部設(shè)備造成任何機(jī)械損壞。

    •液態(tài)臭氧冷卻裝置的熱量足以容納液態(tài)臭氧的累積量，從而降低了由于振動(dòng)而迅速汽化的風(fēng)險(xiǎn)，否則這是爆炸的危險(xiǎn)因素。

標(biāo)準(zhǔn)認(rèn)證

    •本機(jī)符合國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)：SEMI-S2，UL，NFPA，CE等。

質(zhì)量保證

     •通過(guò)第三方認(rèn)證機(jī)構(gòu)的示蹤氣體測(cè)試來(lái)驗(yàn)證氣體泄漏的安全性。

適用領(lǐng)域

如果您對(duì)超純臭氧發(fā)生器感興趣，歡迎咨詢?cè)诰€工程師，為您提供指導(dǎo)建議，謝謝！

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